仪器名称：

场发射分辨率扫描电镜(FESEM）

型 号：

SEM（Tescan mira3, Zeiss sigma500 Zeiss Merlin Compact） EDS（OxfordX-MAX）

场发射分辨率扫描电镜(FESEM）检测项目：

表面形貌观察（磁性、非磁样品、生物样均可）， EDS能谱（点扫、线扫、面扫），elements Mapping，EBSD

场发射分辨率扫描电镜(FESEM）应用范围：

固体样品的微观形貌、结构，样品的微区元素成分、线分布、面分布，广泛应用于纳米技术、材料、物理、化学、环境科学等领域。

块体、粉末、磁性、生物样品都适用。

适合导电性不佳的样品形貌观察。

场发射分辨率扫描电镜(FESEM）制样要求：

样品尺寸要求：块状样和生物样，直径小于26mm，高度小于15mm（样品中不得含有水分）

粉末样>0.02g

生物样品需要提前制好样，否则不予测试。

场发射分辨率扫描电镜(FESEM）测试流程